oval熱式質(zhì)量流量計(jì)的測量原理
熱式質(zhì)量流量計(jì)由主流路、旁通流路、設(shè)置在主流路中的加熱器和溫度傳感器(流量傳感器)以及設(shè)置在旁通流路中產(chǎn)生流量的層流元件構(gòu)成。主要流路 由作為主要單元的主體和處理來自流量傳感器的質(zhì)量流量信號的電路等組成??刂破鲗⑷缟吓渲玫馁|(zhì)量流量計(jì)與電磁閥組合成流量控制部分。(根據(jù)規(guī)格,某些型號有單獨(dú)的電磁閥。)
主要流動路徑是毛細(xì)管,連接到該毛細(xì)管的兩個(gè)溫度傳感器形成橋式電路的一部分。當(dāng)流體流經(jīng)毛細(xì)管時(shí),兩個(gè)溫度傳感器之間會產(chǎn)生與質(zhì)量流量相對應(yīng)的溫差,溫度傳感器檢測到的溫差會改變橋式電路的平衡,因此會產(chǎn)生與流量相對應(yīng)的電信號得到了。可以做的。由于在兩個(gè)溫度傳感器之間放置了一個(gè)加熱器,因此可以將橋式電路檢測到的溫差輸出作為穩(wěn)定的質(zhì)量流量輸出。溫差輸出轉(zhuǎn)換成電壓,放大后成為輸出信號??刂破鲗﹄娐凡糠值牧髁枯敵鲂盘柡土髁吭O(shè)定信號進(jìn)行比較計(jì)算,并將差值控制為零。
熱式質(zhì)量流量計(jì)的特點(diǎn)
1.可直接測量質(zhì)量流量
2.無活動部件
3.甚至可以測量非常小的流量等等。
此外,由于熱式質(zhì)量流量計(jì)的測量原理,必須注意以下幾點(diǎn)。
1.測量對象有限制(氣體和液體的流量非常小)
2.抗污能力弱(適用于清潔流體)
3.不同的流體有不同的傳感器靈敏度(如果流體的類型不能固定,就不能進(jìn)行正確的測量)
然而,用于測量微小流量的熱式質(zhì)量流量計(jì)預(yù)計(jì)在未來將越來越流行,主要用于半導(dǎo)體制造過程中的采樣、混合和稀釋。
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