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兼容Ni、Cr、W、Ti、Al等多種金屬的高規(guī)格緊湊型鍍膜機(jī)

  • 發(fā)布日期:2024-07-04      瀏覽次數(shù):424
    • 兼容Ni、Cr、WTi、Al等多種金屬的高規(guī)格緊湊型鍍膜機(jī)
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      特征

      DC 濺射類別中最小的超緊湊型號。

      配備皮拉尼真空計,確保成膜條件的再現(xiàn)性

      標(biāo)準(zhǔn)配備手動快門

      使用專用的樣品臺和載物臺可以輕松改變 TS 之間的距離。

      可以進(jìn)行鎢涂層,因此也可用于制備高分辨率 SEM 樣品。

      用途和結(jié)果示例

      將電極膜粘貼到各種設(shè)備上

      用于反射薄膜生產(chǎn)等。

      基本規(guī)格

      陰極

      φ2英寸直流磁控管/扁平電極

      適用對象

      Au/Pt/Au-Pd/Pt-Pd/Ag/Pd/W/Ni/Mo/Cr/Ti/Al

      壓力測量

      皮拉尼真空計

      壓力控制

      帶針閥手動控制
      入口直徑 φ6mm 一觸式接頭

      工藝氣體

      氬氣

      真空泵

      直聯(lián)旋轉(zhuǎn)泵:20L/min(帶自動泄漏)

      腔室尺寸

      內(nèi)徑φ90×D90mmSUS材質(zhì))

      樣品交換方式

      前門開閉方式

      尺寸(寬//高)

      機(jī)身:160/450/290mm 轉(zhuǎn)速:295.5/156/199.5mm

      重量

      本體:9kg RP9kg

       

    聯(lián)系方式
    • 電話

    • 傳真

    在線交流
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