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daico在線加熱器(CL 加熱器)產(chǎn)品介紹

  • 發(fā)布日期:2024-08-31      瀏覽次數(shù):432
    • daico在線加熱器(CL 加熱器)產(chǎn)品介紹

      大工制作所的在線加熱器(CL加熱器:Chemical Line Heater)在接液部分使用高純度石英玻璃,用于半導(dǎo)體制造濕法工藝中各種化學(xué)溶液和純水的高溫加熱,并使用鹵素的紅外光能量使用燈加熱器的清潔加熱裝置。

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      特征

         





         ① 清潔度

             接液部件采用石英玻璃制成,金屬離子溶出極低,并具有優(yōu)異的耐熱性和耐化學(xué)性。

             另外,由于它采用光輻射加熱方式,因此加熱器損壞時(shí)不會(huì)產(chǎn)生金屬污染。

        

         ② 高效熱源

             具有快速啟動(dòng)和關(guān)閉時(shí)間的鹵素加熱器。 85%以上紅外轉(zhuǎn)換及投射。

        

      ③安全 







             配有超溫傳感器、過(guò)熱檢測(cè)傳感器和漏電檢測(cè)引線。

               ?另外需要檢測(cè)器。

         ?請(qǐng)?jiān)诓煌南到y(tǒng)中使用干熱檢測(cè)傳感器和過(guò)熱檢測(cè)傳感器。

        

      ④維護(hù) 

             采用單端加熱器,存儲(chǔ)緊湊,維護(hù)方便。

       

       


      內(nèi)部結(jié)構(gòu)

         

       

        


      溫升數(shù)據(jù)

        

       

       


      規(guī)格

       

      方法使用鹵素?zé)艏訜崞鞯妮椛浼訜岱椒?/span>
      產(chǎn)品編號(hào)CLH2603T-25PCLH3903T-25PCLH4123T-25P
      性能配置加熱器功率6千瓦9千瓦12千瓦
      最高工作溫度180℃
      接液部件材料高純石英玻璃
      允許內(nèi)壓0.4兆帕
      管道直徑(石英)25毫米[※1]25毫米25毫米
      適用配管(氟樹(shù)脂)φ25mm[※1]φ25mmφ25mm
      安全機(jī)制超溫傳感器、過(guò)熱檢測(cè)傳感器、泄漏檢測(cè)引線
      功耗交流200V 6KVA交流200V 9KVAAC200V12KVA
      住房外殼材質(zhì)氟樹(shù)脂(PTFE)
      外殼尺寸(寬 x 長(zhǎng) x 高)230×432×242mm [※2]230×432×242mm [※2]230×432×242mm [※2]
      重量約14公斤約15公斤約16公斤








      *不能用于浸泡石英玻璃或氟樹(shù)脂的化學(xué)溶液。

      *石英管配件請(qǐng)自行準(zhǔn)備。 (石英管施工標(biāo)準(zhǔn):與Nippon Pillar Industries石英接頭兼容)

      *1 還備有配管直徑為 φ20mm 的“-20P"型。

      *2 外殼(L)尺寸不包括石英頂部和底部管道的IN/OUT尺寸。      


    聯(lián)系方式
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