山田光學(xué)的YP-150I和YP-250I高亮度鹵素檢查燈憑借400,000 Lux超高照度、3400K色溫白光及冷鏡技術(shù),在半導(dǎo)體、液晶面板、光學(xué)元件等多個(gè)行業(yè)的高精度檢測(cè)中占據(jù)重要地位。以下是其跨行業(yè)適配性的深度解析:
YP-150I:30mmφ光斑適配6英寸晶圓,可檢測(cè)0.2 μm級(jí)劃痕、拋光不均及CMP工藝殘留。
YP-250I:60mmφ光斑覆蓋8英寸晶圓,適合大尺寸晶圓的整面掃描,提升檢測(cè)效率。
冷鏡技術(shù):減少熱輻射,避免晶圓受熱翹曲(尤其對(duì)薄化晶圓至關(guān)重要)。
SiC晶圓:YP-150I的高對(duì)比度照明可識(shí)別表面微裂紋,避免因硬脆材料加工導(dǎo)致的隱形缺陷。
GaAs晶圓:3400K色溫減少熒光干擾,精準(zhǔn)檢測(cè)外延層生長(zhǎng)不均問(wèn)題。
ITO鍍層檢測(cè):YP-250I的60mm光斑均勻照射,識(shí)別鍍層氣泡、劃痕,避免Mura(亮度不均)問(wèn)題9。
偏光片貼合檢查:400,000 Lux照度穿透高反射層,發(fā)現(xiàn)貼合偏移或異物。
熱敏感材料適配:冷鏡技術(shù)使熱輻射降低至傳統(tǒng)鋁鏡的1/3,避免柔性基板受熱變形。
AMOLED像素檢測(cè):YP-150I的30mm光斑精準(zhǔn)定位微米級(jí)暗點(diǎn),提升良率。
鍍膜缺陷檢測(cè):YP-150I識(shí)別AR鍍膜的納米級(jí)針孔,避免光學(xué)畸變。
應(yīng)力分析輔助:結(jié)合偏振光檢測(cè)設(shè)備(如StrainViewerSV200),YP-250I提供均勻照明,輔助內(nèi)應(yīng)力分布測(cè)量。
精密機(jī)加工件:檢測(cè)毛刺、微裂紋(如汽車發(fā)動(dòng)機(jī)部件),YP-250I的寬光斑適配曲面檢測(cè)。
3D打印件:YP-150I的高對(duì)比度光路凸顯層紋缺陷,優(yōu)化后處理工藝。
行業(yè) | 適配型號(hào) | 關(guān)鍵應(yīng)用 | 技術(shù)優(yōu)勢(shì) |
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半導(dǎo)體 | YP-150I | Si/GaAs晶圓微缺陷檢測(cè) | 0.2 μm分辨率,冷鏡防熱變形 |
液晶面板 | YP-250I | ITO鍍層、偏光片檢測(cè) | 60mm均勻光斑,減少M(fèi)ura漏檢 |
光學(xué)元件 | YP-150I | 鍍膜針孔、透鏡劃痕 | 30mm高密度點(diǎn)光源,納米級(jí)靈敏度 |
精密制造 | YP-250I | 金屬/陶瓷表面裂紋 | 寬光斑適配曲面,350W高功率照明 |
小尺寸高精度(<50mm):選YP-150I(如6英寸晶圓、手機(jī)屏)。
大尺寸均勻性(>50mm):選YP-250I(如8英寸晶圓、TV面板)。
熱敏感環(huán)境:優(yōu)先YP系列(冷鏡技術(shù)),替代傳統(tǒng)金屬鹵素?zé)簟?/span>
未來(lái)趨勢(shì):盡管LED光源在壽命(30,000小時(shí))上占優(yōu),但YP系列的3400K全光譜與400,000 Lux照度仍是高精度檢測(cè)的黃金標(biāo)準(zhǔn),尤其在跨行業(yè)兼容性上不可替代。