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適用鎳,鉻,鎢,鈦,鋁等金屬涂布的實(shí)驗(yàn)涂布機(jī)

  • 發(fā)布日期:2021-05-27      瀏覽次數(shù):918
    • 適用鎳,鉻,鎢,鈦,鋁等金屬涂布的實(shí)驗(yàn)涂布機(jī)

      特征

      • 直流濺射類別中系列中小的超緊湊機(jī)型
      • 配備皮拉尼真空計(jì),以確保成膜條件的可重復(fù)性
      • 配備手動(dòng)百葉窗作為標(biāo)準(zhǔn)裝備
      • 使用的樣品臺(tái)和載物臺(tái)可以輕松更改TS之間的距離。
      • 由于可以涂鎢,因此也可以用于制備高分辨率SEM的樣品。

      應(yīng)用/結(jié)果示例

      • 各種設(shè)備的電極膜附件
      • 用于制造反射薄膜等的應(yīng)用

      基本規(guī)格

      陰極φ2英寸直流磁控管/平板型電極
      適用對(duì)象金/鉑/金-鈀/鉑-鈀/銀/鈀/鎢/鎳/鉬/鉻/鈦/鋁
      壓力測(cè)量皮拉尼真空計(jì)
      壓力控制針閥手動(dòng)控制
      引入直徑外徑φ6mm一鍵式安裝
      工藝氣體氬氣
      真空泵直聯(lián)式旋轉(zhuǎn)泵:20L / min(帶自動(dòng)泄漏)
      箱體尺寸內(nèi)徑φ90×D90mm(SUS制)
      樣品交換方法前門開(kāi)合式
      尺寸(寬/深/高)機(jī)身:160/450 / 290mm RP:295.5 / 156 / 199.5mm
      重量身體:9公斤RP:9公斤

       

    聯(lián)系方式
    • 電話

    • 傳真

    在線交流
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