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2ω法納米薄膜導熱儀TCN-2ω技術(shù)解析

  • 發(fā)布日期:2021-09-28      瀏覽次數(shù):1321
    • 2ω法納米薄膜導熱儀TCN-2ω技術(shù)解析

      該裝置是目前世界上唯yi使用2ω法測量納米薄膜厚度方向熱導率的商用裝置。與其他方法相比,樣品制作和測量更容易。

      • 量化低K絕緣膜的熱阻,用于半導體器件的熱設(shè)計

      • 絕緣膜的開發(fā)與散熱的改善

      • 熱電薄膜應(yīng)用評價

      特征

      • 可以測量在厚度方向上形成在基板上的 20 到 1000 nm 的薄膜的熱導率。

      • 使用熱反射法通過溫度幅度檢測實現(xiàn)測量

      • 測量樣品的簡單預(yù)處理

      規(guī)格

      測量溫度轉(zhuǎn)播時間
      樣品尺寸寬度 10 毫米 x 長度 10 至 20 毫米 x 厚度 0.3 至 1 毫米(板)
      測量氣氛在真空中



    聯(lián)系方式
    • 電話

    • 傳真

    在線交流
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