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日本東麗toray氧氣表MS-500

訪問(wèn)次數(shù):1274

更新日期:2025-05-02

簡(jiǎn)要描述:

日本東麗toray氧氣表MS-500
z多可以同時(shí)測(cè)量8個(gè)點(diǎn)
濃度范圍從ppm到100均可顯示。
非常適合安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備,真空設(shè)備等上。

日本東麗toray氧氣表MS-500

日本東麗toray氧氣表MS-500

  • z多可以同時(shí)測(cè)量8個(gè)點(diǎn)
  • 濃度范圍從ppm到100均可顯示。
  • 非常適合安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備,真空設(shè)備等上。
  • 傳感器是直接插入型(用于真空16/25/40的NW法蘭)
  • 特殊涂層應(yīng)用于高度耐用的傳感器,以進(jìn)一步提高耐用性。

日本東麗toray氧氣表MS-500

MS-500設(shè)備規(guī)格

測(cè)量原理

氧化鋯輕型電池

形狀

分體式(轉(zhuǎn)換器:壁掛式,傳感器:直接插入式)

顯示方式

4位數(shù)字顯示(密度顯示)

測(cè)量范圍

0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100體積%氧氣2 10 -20?10 -0大氣壓
自動(dòng)范圍

重復(fù)性

在±0.5%FS 0-1%范圍內(nèi)或以上
±1%FS以下或≤±
0.1ppm大于0-1ppm的0-1%內(nèi),atm范圍超出保證的濃度范圍

測(cè)量點(diǎn)數(shù)

1-8

樣氣條件

壓力

10 -3至200 KPa(壓力)

流量

0.5-5,000 mL / min或0 mL / min(自然擴(kuò)散狀態(tài)的測(cè)量)

濕度

露點(diǎn)低于環(huán)境溫度

溫度

0-100℃

其他

不包含腐蝕性氣體(基于氟的氣體,基于氯的氣體,基于硫化物的氣體等),包含有機(jī)硅的氣體,可燃成分(包括氣體),油和水。

比較氣

大氣層

記錄儀輸出

僅變速箱輸出

變速箱輸出

RS-232C

報(bào)警輸出

沒(méi)有

熱身時(shí)間

6分鐘以?xún)?nèi)

尺寸

MS-500(控制器)

92(W)x 44(H)x 120(D)(不包括突起)

MS-510(轉(zhuǎn)換器)

100(W)x 40(H)x 88(D)(不包括突起)

傳感器單元

SD16NW

總長(zhǎng)100 mm(感應(yīng)部分Φ11×39,主體部分Φ40×51)

SD25NW

總長(zhǎng)100mm(感應(yīng)部分Φ11×42,主體部分Φ40×48)

SD40NW

總長(zhǎng)100 mm(感應(yīng)部分Φ11×41,主體部分Φ40×49)

大眾

MS-500(控制器)

約0.6Kg

MS-510(轉(zhuǎn)換器)

約0.5kg

傳感器單元

SD16NW

約0.2Kg

SD25NW

約0.2Kg

SD40NW

約0.35Kg

外部連接

真空法蘭之一(NW16、25、40)

使用電源

24VDC±10%

 

 

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