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日本sanyu electron臺(tái)式快速涂布機(jī)SC-701MC

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更新日期：2024-03-19

簡(jiǎn)要描述：

日本sanyu electron臺(tái)式快速涂布機(jī)SC-701MC
使用磁控管陰極以減少離子損傷
排氣→涂層→全自動(dòng)，直到進(jìn)入大氣
磁控管陰極有助于生產(chǎn)高質(zhì)量的濺射薄膜

日本sanyu electron臺(tái)式快速涂布機(jī)SC-701MC
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日本sanyu electron臺(tái)式快速涂布機(jī)SC-701MC

特征


  • 使用磁控管陰極以減少離子損傷

  • 排氣→涂層→全自動(dòng)，直到進(jìn)入大氣

  • 磁控管陰極有助于生產(chǎn)高質(zhì)量的濺射薄膜

  • 電極的濺射薄膜可以很容易地涂覆

應(yīng)用/結(jié)果示例


  • 各種設(shè)備的電極膜附件

  • 用于制造反射薄膜等的應(yīng)用

日本sanyu electron臺(tái)式快速涂布機(jī)SC-701MC

基本規(guī)格


陰極φ2英寸直流磁控管/ 2極面對(duì)電極
目標(biāo)包含金靶
膜厚設(shè)定方法預(yù)設(shè)方法/帶膜厚監(jiān)視器的數(shù)字顯示
氣體導(dǎo)入機(jī)制針閥
真空泵直連式旋轉(zhuǎn)泵：20l / min（帶自動(dòng)泄漏）
排氣操作自動(dòng)的
箱體尺寸內(nèi)徑φ120mm x D120 mm（SUS制）
樣品交換方法前門(mén)開(kāi)合式
尺寸（寬/深/高）主體：225/420 / 320mm
RP：300/160 / 200mm
重量身體：15公斤
RP：9公斤


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